微波采用灼燒或干熱空氣滅菌，稱為干熱滅菌。雖然干燥主熱空氣的穿透力不如濕熱蒸汽強，但它使用方便，適用于玻璃器皿和瓷器等物的滅菌，故廣泛應用于實驗室和生產實踐。

干熱是指相對濕度在20％以下的高熱。干熱消毒滅菌是由空氣導熱，傳熱效果較慢。一般繁殖體在干熱80－100℃中經1小時可以殺死，芽胞需160－170℃經2小時方可殺死。