1、蒸餾法     

目前使用的蒸餾器有玻璃、石英和銅等材料制成，蒸餾法只能除去水中非揮發性的物質，并不能除去溶解在水中的氣體，而且，根據制備材料不同，所含雜質的種類和數量也不同，比如，用銅蒸餾器，水中會含有少量的銅離子，用玻璃蒸餾器制備，水中會含有少量的鈉離子和硅酸根離子。從經濟角度講，蒸餾制水存在著耗水量大、用電成本高等弊病，如果是偏遠地區，運輸也會是一個麻煩，尤其是玻璃和石英蒸餾水器。

     2、離子交換法  

用離子交換法制備的純水稱為去離子水，是目前用的比較多的一種方法，一般采用陰、陽離子交換樹脂的混合床裝置，這種方法的優點是：成本低、樹脂可再生后反復使用，制備水量大，去離子能力強，但每種方法都有缺點，反滲透法也不例外，其缺點就是設備與操作比較復雜，而且不能除去有機物等非電解質雜質，并有微量樹脂溶在水中。

      3、滲析法     

滲析也叫滲透法，滲透是在外電場的作用下，利用陰陽離子交換膜對溶液中離子的選擇性透過而使雜質離子從水中分離出來，現在用的比較多的是一種反滲透技術，反滲透能除掉90-99%的絕大多數污染物，但除去雜質的效率比較低，單獨使用的話，只適用于一些要求不是很高的實驗。通常作為一種預處理手段。

 根據以上三種制備方法生產的三種水，我們叫做蒸餾水、去離子水和反滲透水，理解了這三種水的概念，那么再去理解“超純水”就很簡單了。超純水所使用的純化技術和過程簡單如下，第一步和第二步，就是滲析和去離子的一個過程，然后是活性炭過濾（用化學吸附去除氯，有機吸附除去可溶性有機物）、微孔過濾（或稱亞微米過濾，用一個0.2微米孔徑的膜或者中空纖維濾膜，濾除大于0.2微米的污染物。微孔過濾掉來自碳柱的碳微粒、離子樹脂碎片和任何可能進入純化水系統的細菌）、超濾（用來除去純化水中所有直徑大于0.01微米的微粒、熱源和微生物）。還有一些特別手段，如紫外氧化或光氧化（采用254nm的紫外光除去系統中的細菌）等等。