無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room）、無塵車間，是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

（1）三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱；

（2）用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑；

（3）吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面；

（4）每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走；

（5）在潔凈室里吸塵應使用帶有高效過濾器的專用真空吸塵器；

（6）每塊地板都要吸塵。每次交接班時，都應在地圖上標明工作完成情況，例如在哪結束從哪開始；

（7）架空地板下也要吸塵及擦拭；

（8）使用已獲批準的潔凈室專用去污劑；

（9）工作時一定要記住，永遠是由上往下擦，從離門最遠的地方向門的方向擦；

（10）清潔潔凈室的地面應使用專用拖把；

（11）所有的門都需要檢查并擦干;

（12）清潔潔凈室內的墻時應使用潔凈室無塵布。

無塵車間潔凈度之維持和控制，除了硬設備之配合投資外，也需要良好的軟件——管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度。

無塵車間內之污染來源，經測試分析結果，作業人員占約 80%，作業人員進出無塵車間時無塵車間的污染源可分為外污染及內污染源。

外污染源主要包括空調送風、間隙滲入、建筑物、工作服、以及一般性氣體如 N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內污染源則包括生產設備、工作人員、工具、加工制造、隔間材料、工作臺、 包裝材料等。所無塵布廠家以無塵車間工作不但要使用無塵材料，如無塵布，無塵服等，還要加強對進出人員的管理，方能發揮無塵車間應有的作用。

1.無塵車間適當之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設備、原材料搬入無塵車間前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當的管理和設置。

2. 室內發塵之防止：隔墻板、地板等無塵車間材料的適當選用、制造設備的發塵抑制、生產 自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用無塵車間專用器等。

3. 室內發塵之不積留：墻壁體應光滑無死角、無塵車間需定期保養和清掃、制程設備四周應留有空間。

4.發生塵埃立即排除。　

因此對于作業人員之數目、 行動狀態、進出規則之制定與執行，提高無塵車間內作業人之潔凈度意識、反復教育。

1.進入無塵車間之人員，必須要具備有達成高潔凈度標準，并要維持最好狀態。

2.作業人員進入無塵車間數目以維持最小限度原則（愈少愈好），并須依無塵車間進出標準流程進出無塵車間。

1.物料及設備之進出也必須經過潔凈程序，方不至于影響無塵車間之潔凈度。

2.工作人員于其室內清潔設備或物料時必須穿著潔凈衣服，所使用之擦拭紙為無塵紙或不會脫落織毛之無塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入 3~5％濃度的 IPA 或丙酮化學品，以增強去污能力，由于 IPA 及丙酮具揮發性，故此房間之排氣效果須特別考慮。

3.無塵車間內用品除了進出無塵車間用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外， 尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、 吸塵器等。潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會發塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物 之材質，另外經過磨擦不產生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、 著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質為無塵紙或無紡布制成，帽子材質則與潔凈衣相同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住，不能留有空隙，頭發亦不能露出來。無塵車間用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件。

在線粒子監測系統整體解決方案，可以實現通過在線塵粒計數裝置對相關參數進行連續的監測，實現實時數據的采集，預警及報警指示器告知，以此來指導現場或遠程操作人員對于發生的事件及時采取措施，同時，通過對實時采集數據的記錄存儲和回顧審核，用于批生產的放行及廠房設施的回顧。